发展历程
2022
2022年4月
拓荆科技成功上市
2021
2021年12月
全年设备出货100台
客户端总流片量>4600万片
完成HDP产品研发并进入客户验证
客户端总流片量>4600万片
完成HDP产品研发并进入客户验证
2020
2020年12月
UV Cure研制成功，并出货到客户端
客户端总流片量超过1500万片
客户端总流片量超过1500万片
2020年11月
整机累计出货量超过100台套
2020年09月
认定为“辽宁省企业技术中心”
2019
2019年12月
获评国家知识产权示范企业
2019年12月
完成第四轮融资
2019年10月
获批设立“辽宁省博士创新实践基地”
2019年09月
SACVD研制成功并出厂到客户端
2018
首台硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
2018年12月
12英寸ALD通过客户端工艺验证
2018年10月
2017
2017年12月
首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
2017年10月
PF-300T客户端生产线量产流片突破一百万片
2017年8月
完成第三轮融资
2016
拓荆新厂投入使用
2016年12月
首台12英寸ALD出厂到客户端
2016年3月
2015
2015年9月
完成第二轮增资，获国家集成电路产业投资基金战略投资
2015年3月
PF-300T在客户端生产线突破一万片
2014
获批组建“辽宁省薄膜设备工程研究中心”
2014年12月
客户端首台量产机台PF-300T的设备订单
2014年8月
完成公司首轮增资
2014年5月
2013
PF-300T通过客户端产品线测试
2013年12月
首台12寸PF-300销售
2013年5月
2012
推出12英寸多反应腔PF-300T设备
2012年12月
2011
首台12英寸PECVD出厂到客户端验证
2011年10月
获批建设辽宁省半导体薄膜技术装备工程技术研究中心
2011年8月
2010
沈阳拓荆科技有限公司成立
2010年4月
