产品介绍

        PF-300T Upsilon 是一款面向先进逻辑芯片制造的紫外线固化（UV Cure）设备，该产品通过自主研发的均匀光路设计及精准可控的紫外光固化工艺，实现对沉积后的介质薄膜进行改性处理，可显著提高薄膜性能。目前已覆盖所有 UV 应用，如低k介电薄膜（Lok-II）和高应力氮化硅（HTN）的沉积后处理，为客户提供多样化产品配置及解决方案。平台一体化的集成架构，将专用UV固化反应腔直接搭载于成熟量产 PECVD 设备平台，在保障高精度固化工艺效果的同时，提升整机量产能力，已通过先进晶圆厂高产能量产验证。

产品特点
        - 均匀光路设计，实现稳定紫外固化效果
        - 优异的生产成本(CoO)及性能指标
        - 可搭载1-3个反应腔
        - 通过 S2 安全认证和 F47 标准检验